| 非扫描并行三维共焦检测技术综述 |
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| 引用本文： | 王永红,余晓芬,俞建卫,黄其圣,徐科军.非扫描并行三维共焦检测技术综述[J].仪器仪表学报,2003,24(Z1):8-11. |
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| 作者姓名： | 王永红 余晓芬 俞建卫 黄其圣 徐科军 |
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| 作者单位： | 合肥工业大学仪器仪表学院,合肥,230009 |
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| 基金项目： | 本文系国家自然科学基金(50175024)、合工大科研发展基金教育部科学技术研究重点(重点01103)项目. |
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| 摘 要： | 共焦测量方法由于其高精度、高分辨率及易于实现三维成像数字化的独特优势而被广泛应用.近年来,非扫描三维并行共焦技术引起各国专家的普遍关注,该技术将单点扫描变为多路并行探测,同步对被测表面的不同点进行检测,从而无需扫描实现全场同步测量.该文论述了近年来国内外在共焦并行全场检测技术方面的研究进展,介绍了国内外几种并行共焦检测系统的情况,及作者已进行的有关研究进展.
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| 关 键 词： | 三维探测 共焦 并行探测 微光学器件 |
A survey of the non-scanning 3-D profile confocal detecting |
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