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OLD诊断SiH_4的LPCVD动力学过程

作者姓名：	傅广生李晓苇韩理张连水董丽芳吕福润薛春银

作者单位：	河北大学物理系(傅广生，李晓苇，韩理，张连水，董丽芳，吕福润)，河北大学物理系(薛春银)

摘要：	用光—声激光偏转(OLD)技术研究了激光等离子体淀积(LPCVD)硅膜中的激波动力学过程。证明激波对淀积膜的结构、均匀性及面积有重要影响。
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