| 碳化硅轻量反射镜的超精密加工 |
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| 引用本文： | 戴玉堂,姜德生,林伟民,大森整. 碳化硅轻量反射镜的超精密加工[J]. 制造技术与机床, 2005, 0(11): 20-22 |
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| 作者姓名： | 戴玉堂 姜德生 林伟民 大森整 |
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| 作者单位： | 1. 武汉理工大学光纤传感技术与信息处理教育部重点实验室,湖北,武汉,430070
2. 理化学研究所素形材工学研究室,日本埼玉县,351-0198 |
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| 摘 要： | 运用在线电解磨削技术(ELID)加工大型碳化硅球面镜(口径ф360 mm),设计了一套专用的静压组合夹具用以抑制加工过程中因磨削力引起的工件变形.结合在线面形测量和基于误差补偿的补正加工方法,可以获得面形精度为P-V值0.8 μm、表面粗糙度为Ra7.8 nm的高质量碳化硅球面镜.
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| 关 键 词： | 烧结碳化硅 宇宙望远镜 ELID磨削 超精密加工 |
| 收稿时间： | 2005-05-08 |
| 修稿时间： | 2005-05-08 |
Ultraprecision Fabrication of SiC Lightweight Mirror |
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| DAI Yutang,JIANG Desheng,LIN Weimin,OHMORI Hitoshi. Ultraprecision Fabrication of SiC Lightweight Mirror[J]. Manufacturing Technology & Machine Tool, 2005, 0(11): 20-22 |
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| Authors: | DAI Yutang JIANG Desheng LIN Weimin OHMORI Hitoshi |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Sintered - SiC Mirror ELID Grinding Ultraprecision Fabrication |
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