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| 用EDS测量薄膜的厚度及其元素的深度分布 | |
| 作者姓名： | 赵家政 徐洮 马良 |
| 作者单位： | 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑开放研究实验室,兰州,730000 |
| 摘 要： | 在扫描电子显微观察的同时，用ＥＤＳ测量薄膜的厚度及其元素的深度分布［１，２］简便可行。薄膜厚度的测量例１．载玻片上的ＣｏＣｕ膜。对载玻片、Ｃｕ底膜和ＣｏＣｕ膜，用ＥＤＳ分别进行了测量，其数据列入表１。根据电子在膜中的穿透深度（４０ｋＶ时在Ｃｕ膜中穿透... |
| 关 键 词： | 薄膜测量 厚度 元素深度分布 EDS |
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