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分子束外延生长高速直接调制1.3μmInAs/GaAs量子点激光器
作者姓名:杨涛  季海铭  徐鹏飞
作者单位:中国科学院半导体研究所,北京,100083
基金项目:国家“863”计划(2006AA032401);同家自然科学基金(60876033,61021003);中国科学院“百人计划”
摘    要:介绍了分子束外延生长高速直接调制1.3μm InAs/CaAs量子点激光器.通过对量子点的生长温度和堆叠层数的优化研究,外延并制作了有源区包含5层InA/GaAs量子点的1.3μm脊型波导边发射激光器.输出特性测试结果表明,条宽4μm、腔长600 μm的量子点激光器室温阈值电流仅为5mA,激射中心波长位于1 293 nm,并且可以在10~100℃范围内实现连续激射.大信号调制眼图测试表明,激光器在25℃下可以实现12 Gb/s眼图的清晰张开.

关 键 词:直接调制  量子点激光器  分子束外延
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