真空技术及应用系列讲座 第17讲 薄膜与表面技术基础

1概述对固体材料而言,薄膜与表面技术实施的主要目的,是以经济、有效的方法改变材料表面及近表面区的形态、化学成分和组织结构,使材料表面获得新的复合性能,以新型的功能,实现新的工程应用。