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| 激光准直干涉法测量导轨不直度 | |
| 引用本文： | 张达聚.激光准直干涉法测量导轨不直度[J].计量技术,1982(2). |
| 作者姓名： | 张达聚 |
| 作者单位： | 天津大学精仪教研室 |
| 摘 要： | 本文讨论了由激光器发出的光束,通过克卜勒内调焦倒置望远镜系统,得到扩束的平行光束,此光束照射到置于被测件(如导轨)上的装有条纹干涉系统的靶上,即可在影屏上获得干涉条纹图象。将靶沿被测导轨移动,由于导轨不直度误差,将使得干涉条纹发生移动,其移动量的大小即精确地表征了不直度的误差大小。实验结果证明:采用激光准直干涉仪作准直和测量,条纹清晰,使用方便,抗干扰及防振性能好,可在车间条件下使用。本装置测量范围可达100米以下的尺寸,其误差小于20微 |
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