| 湿敏元件在恶劣环境下的失效机理分析 |
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| 引用本文： | 张广学,司良有,金建东,刘其中,郑丽. 湿敏元件在恶劣环境下的失效机理分析[J]. 信息技术, 2010, 0(5): 17-19 |
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| 作者姓名： | 张广学 司良有 金建东 刘其中 郑丽 |
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| 作者单位： | 1. 中国电子科技集团公司第四十九研究所,哈尔滨,150001
2. 中国人民解放军第二炮兵驻哈尔滨军代表室,哈尔滨,150036 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 介绍了电容式高分子湿敏元件的基本结构及制造工艺.分析了湿敏元件在恶劣环境下的失效机理及产生的原因,指出了感湿膜中的颗粒状缺陷是造成湿敏元件在恶劣环境下失效的主要原因.提出了在湿敏元件制作、上电极工艺制造技术和湿敏元件筛选检验的改进措施.
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| 关 键 词： | 湿敏元件 失效机理 缺陷 |
Analysis of humidity sensors failure mechanism under harsh environment |
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| ZHANG Guang-xue,SI Liang-you,JIN Jian-dong,LIU Qi-zhong,ZHENG Li. Analysis of humidity sensors failure mechanism under harsh environment[J]. Information Technology, 2010, 0(5): 17-19 |
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| Authors: | ZHANG Guang-xue SI Liang-you JIN Jian-dong LIU Qi-zhong ZHENG Li |
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