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| 聚焦离子束(FIB)快速制备透射电镜样品 | |
| 引用本文： | 周伟敏,徐南华. 聚焦离子束(FIB)快速制备透射电镜样品[J]. 电子显微学报, 2004, 23(4): 513-513 |
| 作者姓名： | 周伟敏 徐南华 |
| 作者单位： | 上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室,上海,200030 |
| 摘 要： | 高性能聚焦离子束系统(简称FIB)具有许多独特且重要的功能，已广泛地应用于半导体工业中。近年来，FIB在材料科学研究领域也有了广泛的应用。本文主要介绍利用FIB快速制备TEM样品的方法。实验设备为日本精工公司生产的型号为Seiko SM12200的聚焦离子束系统。 |
| 关 键 词： | 透射电子显微镜 聚焦离子束系统 样品制备 离子减薄法 |
Fast preparation of TEM sample by focused ion beam(FIB) |
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