氮化铝粉体工程的研究进展 |
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引用本文: | 冯关正,周有福,许文涛,李亚男.氮化铝粉体工程的研究进展[J].现代技术陶瓷,2023(Z1):353-384. |
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作者姓名: | 冯关正 周有福 许文涛 李亚男 |
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作者单位: | 1. 中国科学院福建物质结构研究所;2. 中国科学院大学 |
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摘 要: | 电子技术微型化、轻型化、高集成和大功率的发展,对基板和封装材料提出更高要求。氮化铝陶瓷具有高导热性、绝缘性、热膨胀系数与半导体硅相近、机械强度高、化学稳定性好、无毒无害等优良特性,是理想的基板材料之一,具有很好的发展前景。高质量氮化铝粉体是制备高性能氮化铝陶瓷的关键。本文分别归纳介绍了微米/纳米氮化铝合成的新技术、新方法及其研究进展,并展望了氮化铝粉体合成的发展趋势。
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关 键 词: | 氮化铝 粉体工程 高性能 合成 |
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