| 基于InP/空气隙分布布拉格反射镜的微机械可调谐光滤波器 |
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| 引用本文： | 侯识华,孙捷,毛容伟,吴旭明,马骁宇,谭满清,陈良惠.基于InP/空气隙分布布拉格反射镜的微机械可调谐光滤波器[J].半导体光电,2006,27(5):543-546. |
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| 作者姓名： | 侯识华 孙捷 毛容伟 吴旭明 马骁宇 谭满清 陈良惠 |
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| 作者单位： | 华南理工大学,物理科学与技术学院,广东,广州,510640;中国科学院半导体研究所,北京,100083;中国科学院半导体研究所,北京,100083 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 采用表面微机械技术制作了一种1 310 nm基于InP/空气隙分布布拉格反射镜的微机械可调谐Fabry-Perot光滤波器.该滤波器的通光孔直径约为70 μm,在1.4 V的调谐电压下,调谐范围达到15 nm.并采用光学传输矩阵方法,分析了斜入射对这种可调谐光滤波器透射谱的峰值半高宽的影响.
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| 关 键 词： | 可调谐滤波器 InP/空气隙 分布布拉格反射镜 Fabry-Perot 表面微机械技术 |
| 文章编号： | 1001-5868(2006)05-0543-04 |
| 收稿时间： | 2006-03-14 |
| 修稿时间： | 2006年3月14日 |
Micromachined Tunable Filter Based on InP/Air-gap Distributed Bragg Reflectors |
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| HOU Shi-hua,SUN Jie,MAO Rong-wei,Wu Xu-ming,MA Xiao-yu,TAN Man-qing,CHEN Liang-hui.Micromachined Tunable Filter Based on InP/Air-gap Distributed Bragg Reflectors[J].Semiconductor Optoelectronics,2006,27(5):543-546. |
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| Authors: | HOU Shi-hua SUN Jie MAO Rong-wei Wu Xu-ming MA Xiao-yu TAN Man-qing CHEN Liang-hui |
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| Affiliation: | 1. School of Physics Science and Technology, South China University of Technology, Guangzhou 510640, CHN; 2. Institute of Semiconductors,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100083, CHN |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | tunable filter InP/air-gap distributed Bragg reflector Fabry-Perot surface micromachining technology |
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