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| 钛酸锶钡（BST）薄膜的组成、结构与性能研究进展 | |
| 引用本文： | 符春林,杨传仁,陈宏伟.钛酸锶钡（BST）薄膜的组成、结构与性能研究进展[J].真空科学与技术,2003,23(4):255-263. |
| 作者姓名： | 符春林 杨传仁 陈宏伟 |
| 作者单位： | 电子科技大学微电子与固体电子学院,成都610054 |
| 摘 要： | 钛酸锶钡(BST)薄膜是一种重要的铁电薄膜，应用广泛，是高新技术研究的前沿和热点之一。简要介绍了BST薄膜的制备方法和应用，对此薄膜的基片、电极、晶界、界面、热处理、膜厚及组成、结构、性能等方面作了重点讨论，提出了研究中需要解决的一些问题。 |
| 关 键 词： | 钛酸锶钡 铁电薄膜 基片 电极 晶界 界面 介电性能 |
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