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| 高效气体净化过滤器 | |
| 引用本文： | 邱明三.高效气体净化过滤器[J].低温与特气,1986(1):13-15. |
| 作者姓名： | 邱明三 |
| 作者单位： | 核工业部第八研究所 |
| 摘 要： | 用过滤器除掉气体中的尘埃微粒，国内、外巳得到普遍推广应用。近十多年来，集成电路技术发展相当迅速，集成度愈来愈高，功能愈来愈多，构造愈来愈复杂，线条宽度愈来愈细，加工制造愈来愈难。气体中的尘埃微粒对集成电路的质量及成品率有极大的影响，严重者会导致整个电路报废。 |
| 关 键 词： | 过滤器 气体净化 高效 集成电路技术 推广应用 线条宽度 加工制造 集成度 极大的 成品率 微粒 尘埃 |
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