| 激光诱导液相电极腐蚀新方法 |
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| 引用本文： | 陈镇龙,叶玉堂,刘霖,范超,田骁,吴云峰,王昱琳. 激光诱导液相电极腐蚀新方法[J]. 光电工程, 2006, 33(12): 136-140 |
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| 作者姓名： | 陈镇龙 叶玉堂 刘霖 范超 田骁 吴云峰 王昱琳 |
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| 作者单位： | 电子科技大学,光电信息学院,四川,成都,610054;电子科技大学,光电信息学院,四川,成都,610054;电子科技大学,光电信息学院,四川,成都,610054;电子科技大学,光电信息学院,四川,成都,610054;电子科技大学,光电信息学院,四川,成都,610054;电子科技大学,光电信息学院,四川,成都,610054;电子科技大学,光电信息学院,四川,成都,610054 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;教育部科学技术研究项目;四川省科技厅资助项目;国防重点实验室基金 |
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| 摘 要： | 提出了一种激光诱导液相腐蚀新方法—电极腐蚀法。电极腐蚀法是指进行激光化学液相腐蚀时,在腐蚀溶液中添加电极,以吸引反应中间离子脱离基片表面,实现腐蚀的持续稳定进行。理论分析和实验结果都表明,电极腐蚀法可以有效地加快激光腐蚀的进程;吸附在基片表面的离子在电极作用下,快速迁移出基片表面,保证了基片表面腐蚀溶液构成的稳定,进而得到更加均匀的腐蚀表面;利用电流随腐蚀速率变化而变化的特点,使腐蚀速率和深度的直接监控转变为对腐蚀电流的间接控制,简化腐蚀控制方法。基于以上优点,电极腐蚀法可以克服现有激光腐蚀方法的诸多弊端,改善激光腐蚀性能,在特殊结构光电器件的制作和半导体的微细加工中具有广阔的应用前景。
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| 关 键 词： | 激光诱导腐蚀 光电子 Ⅲ-Ⅴ族半导体 |
| 文章编号： | 1003-501X(2006)12-0136-05 |
| 收稿时间： | 2006-03-07 |
| 修稿时间： | 2006-10-27 |
New method using electrodes in laser induced wet etching |
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| CHEN Zhen-long,YE Yu-tang,LIU Lin,FAN Chao,TIAN Xiao,WU Yun-feng,WANG Yu-lin. New method using electrodes in laser induced wet etching[J]. Opto-Electronic Engineering, 2006, 33(12): 136-140 |
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| Authors: | CHEN Zhen-long YE Yu-tang LIU Lin FAN Chao TIAN Xiao WU Yun-feng WANG Yu-lin |
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| Affiliation: | School of Opto-electronic Information, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 610054, China |
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