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| 应用光电子谱研究Si／Co／Si系统的固相反应及CoSi2的电子结构 | |
| 引用本文： | 王建明,李观启.应用光电子谱研究Si／Co／Si系统的固相反应及CoSi2的电子结构[J].半导体技术,1991(4):56-60. |
| 作者姓名： | 王建明 李观启 |
| 作者单位： | 广州华南理工大学物理系 510641(王建明，李观启，关中亿)，广州华南理工大学物理系 510641(黄美浅) |
| 摘 要： | 本文介绍了利用俄歇电子能谱、X射线光电子谱和紫外光电子谱,对Si/Co/Si系统的固相反应形成物的组分、化学相和电子结构进行研究的结果。 |
| 关 键 词： | 硅化物 光电谱 电子结构 固相反应 |
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