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玻璃衬底上PLZT择优取向薄膜的溅射生长机理

引用本文：	张瑞涛,葛敏.玻璃衬底上PLZT择优取向薄膜的溅射生长机理[J].电子元件,1991(3):37-39.

作者姓名：	张瑞涛葛敏

摘要：
关键词：	铁电体薄膜溅射生长 PLZT 机理
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