| 电涡流式位移传感器低温标定系统及其误差分析 |
| |
| 引用本文： | 陆毅,傅志斌,丁天怀,徐玉铮. 电涡流式位移传感器低温标定系统及其误差分析[J]. 低温工程, 2004, 0(2): 41-44 |
| |
| 作者姓名： | 陆毅 傅志斌 丁天怀 徐玉铮 |
| |
| 作者单位： | 清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084;清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084;清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084;清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084 |
| |
| 摘 要： | 介绍了一种能在20 K～300K温度范围内对电涡流式位移传感器进行静态标定的系统,着重分析了该系统的温度及位移误差,并对传感器进行了20 K,90 K的标定实验.该标定系统具有多通道数据采集与处理、自动温控、观察窗可视操作等特点,工作区温控精度优于±1 K,位移给定精度0.001 mm.经适当改进后还可对其它原理位移传感器进行低温标定.
|
| 关 键 词： | 低温 标定 电涡流位移传感器 误差 |
CRYOGENIC CALIBRATION SYSTEM OF EDDY CURRENT DISPLACEMENT SENSOR AND ITS ERROR ANALYSIS |
| |
| Lu Yi Fu Zhibin Ding Tianhuai Xu Yuzheng. CRYOGENIC CALIBRATION SYSTEM OF EDDY CURRENT DISPLACEMENT SENSOR AND ITS ERROR ANALYSIS[J]. Cryogenics, 2004, 0(2): 41-44 |
| |
| Authors: | Lu Yi Fu Zhibin Ding Tianhuai Xu Yuzheng |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | cryogenic calibration eddy current displacement sensor error |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
|
