氟化物和氧化物薄膜对0.26～1.06微米的脉冲激光损伤阈值

测量了CaF2,MgF2,ThF4,MgO,Al2O3,TiO2,SiO2,HfO2和ZrO2薄膜的脉冲式激光引发损伤阈值。测量是在波长1.06微米、0.53微米和0.26微米进行的,脉冲宽度约为5毫微秒和15毫微秒(对1.06微米)。每一种材料的不同厚度的薄膜,都对每种激光波长和脉冲宽度,进行了损伤实验。薄膜厚度为1λ,1/2λ,1/4λ,1/6λ和1/8λ,其中λ=1.06微米。实验发现,对于大多数膜料,击穿与脉冲宽度的关系符合脉宽]1/2曲线。也发现了一些例外:某些氧化物薄膜对于1.06微米的激光,其击穿能量密度实际与脉宽无关。氟化物薄膜和SiO2薄膜,其损伤阈值随膜厚增加而减小,这与膜层内部的电场变化并无关联(氧化物薄膜并不展现如此明显的厚度关系)。