Lamb波压差式微流量传感器的研究

为提高微小流量检测的灵敏度，增大其动态范围，实现温度补偿，提出了一种基于Lamb波的压差式微流量传感器。此传感器主要由两个Lamb波传感器，中间以微通道相连接构成。流体流动时，利用Lamb波薄膜内应力的敏感特性，采用频率计量的方式间接测量微通道两端的压力差，并结合微通道的几何尺寸以及流动特性，利用流体仿真软件Fluent进行仿真获得流量。本文对长20mm，宽1mm，高50μm的微通道进行了微流量测试的相关实验。实验结果表明：在流量测试范围内，微通道两端的频率差与流量基本呈线性变化，其线性相关系数为0.9999；在微流量传感器没进行优化的前提下，其最小检测量为0.627μL/s。

Research on different pressure microflow sensors based on Lamb waves