| 二氧化钌电阻涂层电阻温度特性研究 |
| |
| 引用本文： | 李君哲,姜如,刘海韬,黄丽华,黄文质,田浩. 二氧化钌电阻涂层电阻温度特性研究[J]. 稀有金属材料与工程, 2021, 50(5): 1679-1684 |
| |
| 作者姓名： | 李君哲 姜如 刘海韬 黄丽华 黄文质 田浩 |
| |
| 作者单位： | 国防科技大学空天科学学院新型陶瓷纤维及其复合材料重点实验室,湖南科技大学物理与电子科学学院,国防科技大学空天科学学院新型陶瓷纤维及其复合材料重点实验室,国防科技大学空天科学学院新型陶瓷纤维及其复合材料重点实验室,国防科技大学空天科学学院新型陶瓷纤维及其复合材料重点实验室,北京航空工程技术研究中心 |
| |
| 摘 要： | 以二氧化钌为导电相的厚膜电阻涂层具有电阻稳定性好和电阻温度系数低等优点,被广泛应用于厚膜集成电路。本文分别以连续铝硅酸盐纤维增强二氧化硅(ASf/SiO2)复合材料和氧化铝陶瓷为基材,采用丝网印刷工艺在两种基材表面印制了二氧化钌电阻涂层,并通过数字图像相关法、有限元分析法和XRD应力测定法系统研究了25~700°C范围内电阻涂层和基材之间的热匹配特性,分析了涂层的电阻温度特性。结果表明,由于电阻涂层的热膨胀系数大于ASf/SiO2复合材料,导致烧结其上的电阻涂层在室温状态受到残余拉应力,高温状态下该拉应力被释放,导电颗粒间的距离减小,势垒电阻减小,宏观表现为涂层电阻随测试温度升高而减小,呈现负的电阻温度特性。相反,由于电阻涂层的热膨胀系数小于氧化铝陶瓷,烧结其上的电阻涂层在室温状态受到残余压应力,高温状态压应力释放导致导电颗粒间的距离增大,势垒电阻增加,电阻涂层呈现正的温度特性。
|
| 关 键 词： | 二氧化钌电阻涂层 AS[sub_s]f[sub_e]/SiO[sub_s]2[sub_e]复合材料 热失配 残余应力 |
| 收稿时间： | 2020-02-27 |
| 修稿时间： | 2020-04-15 |
The Resistance-temperature Characteristic of RuO2-based Thick Film Resistor |
| |
| Li Junzhe,Jiang Ru,Liu Haitao,Huang Lihu,Huang Wenzhi and Tian Hao. The Resistance-temperature Characteristic of RuO2-based Thick Film Resistor[J]. Rare Metal Materials and Engineering, 2021, 50(5): 1679-1684 |
| |
| Authors: | Li Junzhe Jiang Ru Liu Haitao Huang Lihu Huang Wenzhi Tian Hao |
| |
| Affiliation: | Science and Technology for Nation Defense on Advanced Ceramic Fibers and Composites Laboratory,College of Aerospace Science,National University of Defense Technology,School of Physics and Electronic Science,Hunan University of Science and Technology,Science and Technology for Nation Defense on Advanced Ceramic Fibers and Composites Laboratory,College of Aerospace Science,National University of Defense Technology,Science and Technology for Nation Defense on Advanced Ceramic Fibers and Composites Laboratory,College of Aerospace Science,National University of Defense Technology,Science and Technology for Nation Defense on Advanced Ceramic Fibers and Composites Laboratory,College of Aerospace Science,National University of Defense Technology, |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | RuO2-based resistance film ASf/SiO2 composite thermal mismatch residual stress |
|
| 点击此处可从《稀有金属材料与工程》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《稀有金属材料与工程》下载全文 |
|
