Fe-Co薄膜与Al2O3 基体相互扩散和相互作用相关的微观结构演变

利用先进分析透射电子显微镜,检测并系统地研究了磁控溅射Fe-Co薄膜与Al₂O₃基体之间的相互扩散。结果表明,扩散会形成尖晶石相FeAl₂O₄,并导致界面层的形成。
微观结构表征表明,在界面附近的Fe-Co薄膜中形成了与相互扩散相关的非公度结构。本研究不仅检测到Fe-Co薄膜与蓝宝石基体之间的相互扩散和伴随的新相形成,而且揭示了界面区域相应的微观结构演变,这些结果可能对薄膜的磁学性质有很大的影响。