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脉冲激光沉积法制备的单层MoS2薄膜变温光响应研究
引用本文:谢明章,李留猛,李明,叶艳,张金中,姜凯,商丽燕,胡志高,褚君浩.脉冲激光沉积法制备的单层MoS2薄膜变温光响应研究[J].红外与毫米波学报,2021,40(3):302-307.
作者姓名:谢明章  李留猛  李明  叶艳  张金中  姜凯  商丽燕  胡志高  褚君浩
作者单位:华东师范大学 物理与电子科学学院,材料科学系,纳光电集成与先进装备教育部工程研究中心,上海市极化材料多功能磁光光谱技术服务平台,上海 200241,华东师范大学 物理与电子科学学院,材料科学系,纳光电集成与先进装备教育部工程研究中心,上海市极化材料多功能磁光光谱技术服务平台,上海 200241,华东师范大学 物理与电子科学学院,材料科学系,纳光电集成与先进装备教育部工程研究中心,上海市极化材料多功能磁光光谱技术服务平台,上海 200241,华东师范大学 物理与电子科学学院,材料科学系,纳光电集成与先进装备教育部工程研究中心,上海市极化材料多功能磁光光谱技术服务平台,上海 200241,华东师范大学 物理与电子科学学院,材料科学系,纳光电集成与先进装备教育部工程研究中心,上海市极化材料多功能磁光光谱技术服务平台,上海 200241,华东师范大学 物理与电子科学学院,材料科学系,纳光电集成与先进装备教育部工程研究中心,上海市极化材料多功能磁光光谱技术服务平台,上海 200241,华东师范大学 物理与电子科学学院,材料科学系,纳光电集成与先进装备教育部工程研究中心,上海市极化材料多功能磁光光谱技术服务平台,上海 200241,华东师范大学 物理与电子科学学院,材料科学系,纳光电集成与先进装备教育部工程研究中心,上海市极化材料多功能磁光光谱技术服务平台,上海 200241;复旦大学 上海智能电子与系统研究院,上海 200433,华东师范大学 物理与电子科学学院,材料科学系,纳光电集成与先进装备教育部工程研究中心,上海市极化材料多功能磁光光谱技术服务平台,上海 200241;复旦大学 上海智能电子与系统研究院,上海 200433
基金项目:Supported by the National Key R&D Program of China (2018YFB0406500 , 2019YFB2203400); the Natural Science Foundation of China (91833303,61974043,61674057); Projects of Science and Technology Commission of Shanghai Municipality (18JC1412400, 18YF1407200,18YF1407000,19511120100).
摘    要:报导了在c-Al2O3衬底上用脉冲激光沉积法制备MoS2薄膜,并测试了其不同温度下的光响应。通过拉曼散射光谱和X射线衍射光谱证明了所制备的二硫化钼为纯2H相。通过X光电子能谱证明了所制备的二硫化钼硫钼原子比为1.92:1,在Mo元素的3d核心能级谱中存在红移和蓝移,说明薄膜中存在氧化和硫缺陷。此外,通过拉曼和光致发光分布图,证明了薄膜具有良好的均一性。在不同层数的二硫化钼样品中,单层二硫化钼样品具有最强的光响应,达到3 mAW-1。单层二硫化钼的变温光响应实验表明,在室温附近,温度升高会提高二硫化钼的光响应强度和响应时间。

关 键 词:二硫化钼  脉冲激光沉积  光致发光  光响应
收稿时间:2020/8/2 0:00:00
修稿时间:2021/5/20 0:00:00

Temperature-dependent photoresponse of monolayer MoS2 film grown by pulsed laser deposition
XIE Ming-Zhang,LI Liu-Meng,LI Ming,YE Yan,ZHANG Jin-Zhong,JIANG Kai,SHANG Li-Yan,HU Zhi-Gao and CHU Jun-Hao.Temperature-dependent photoresponse of monolayer MoS2 film grown by pulsed laser deposition[J].Journal of Infrared and Millimeter Waves,2021,40(3):302-307.
Authors:XIE Ming-Zhang  LI Liu-Meng  LI Ming  YE Yan  ZHANG Jin-Zhong  JIANG Kai  SHANG Li-Yan  HU Zhi-Gao and CHU Jun-Hao
Abstract:
Keywords:molybdenum disulfide  pulsed laser deposition  photoluminescence  photoresponse
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