| 一种基于MEMS的射频低相位噪声压控振荡器的研制 |
| |
| 引用本文： | 李丽,赵正平,张志国,郭文胜,吕苗,杨瑞霞. 一种基于MEMS的射频低相位噪声压控振荡器的研制[J]. 半导体学报, 2006, 27(5): 900-904 |
| |
| 作者姓名： | 李丽 赵正平 张志国 郭文胜 吕苗 杨瑞霞 |
| |
| 作者单位： | 河北工业大学信息工程学院，天津 300130;中国电子科技集团公司第十三研究所，石家庄 050051;河北工业大学信息工程学院，天津 300130;中国电子科技集团公司第十三研究所，石家庄 050051;河北工业大学信息工程学院，天津 300130;中国电子科技集团公司第十三研究所，石家庄 050051;中国电子科技集团公司第十三研究所，石家庄 050051;中国电子科技集团公司第十三研究所，石家庄 050051;河北工业大学信息工程学院，天津 300130 |
| |
| 摘 要： | 利用微机械可变电容作为频率调节元件,制备了一种中心频率为2GHz的 LC VCO.微机械可变电容的控制极板与电容极板分离,并采用表面微机械工艺制造,在2GHz时的Q值最高约为38.462.MEMS VCO的测试结果表明,偏离2.007GHz的载波频率100kHz处的单边带相位噪声为-107.5dBc/Hz,输出功率为-13.67dBm.对微机械可变电容引起的机械热噪声以及减小空气压膜阻尼来降低相位噪声的方法进行了讨论,提出了一种优化阻尼孔数目的方法.
|
| 关 键 词： | MEMS 可变电容 Q值 压控振荡器 相位噪声 MEMS 射频 低相位噪声 压控振荡器 Voltage Controlled Oscillator 孔数 优化阻尼 方法 压膜阻尼 空气 热噪声 表面微机械 输出功率 单边带 载波频率 测试结果 工艺制造 分离 电容极板 控制极板 |
| 文章编号： | 0253-4177(2006)05-0900-05 |
| 收稿时间： | 2005-07-27 |
| 修稿时间： | 2005-12-04 |
Voltage Controlled Oscillator |
| |
| Li Li,Zhao Zhengping,Zhang Zhiguo,Guo Wensheng,Yang Ruixia. Voltage Controlled Oscillator[J]. Chinese Journal of Semiconductors, 2006, 27(5): 900-904 |
| |
| Authors: | Li Li Zhao Zhengping Zhang Zhiguo Guo Wensheng Yang Ruixia |
| |
| Affiliation: | School of Information Engineering,Hebei University of Technology,Tianjin 300130,China;The 13th Research Institute of CETC,Shijiazhuang 050051, China;School of Information Engineering,Hebei University of Technology,Tianjin 300130,China;The 13th Research Institute of CETC,Shijiazhuang 050051, China;School of Information Engineering,Hebei University of Technology,Tianjin 300130,China;The 13th Research Institute of CETC,Shijiazhuang 050051, China;The 13th Research Institute of CETC,Shijiazhuang 050051, China;The 13th Research Institute of CETC,Shijiazhuang 050051, China;School of Information Engineering,Hebei University of Technology,Tianjin 300130,China |
| |
| Abstract: | A 2GHz LC VCO is fabricated using a micromachined variable capacitor for frequency tuning.The MEMS variable capacitors,whose controlling plates and capacitor plates are separated,are fabricated in a surface micromachining process.These devices have a quality factor of 38.462 at 2GHz.The MEMS VCO operating at 2.007GHz achieves a single side band phase-noise of -107.5dBc/Hz at a 100kHz offset from the carrier and an output power of -13.67dBm.On the basis of analysis of VCO mechanical-thermal noise produced from the micromachined variable capacitor,a method for lowering the phase noise by reducing the squeeze damping is proposed and an optimized number of damping holes is obtained. |
| |
| Keywords: | MEMS variable capacitor quality factor VCO phase noise |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《半导体学报》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《半导体学报》下载全文 |
|
