| 聚合物/SiO2混合波导2×2热光开关的制备与测试 |
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| 引用本文： | 梁磊,曲禄成,张立钧,郑传涛,孙小强,王菲,张大明.聚合物/SiO2混合波导2×2热光开关的制备与测试[J].光电子．激光,2014(4):642-647. |
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| 作者姓名： | 梁磊 曲禄成 张立钧 郑传涛 孙小强 王菲 张大明 |
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| 作者单位： | 吉林大学 电子科学与工程学院,集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区,吉林 长春 130012;吉林大学 电子科学与工程学院,集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区,吉林 长春 130012;吉林大学 电子科学与工程学院,集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区,吉林 长春 130012;吉林大学 电子科学与工程学院,集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区,吉林 长春 130012;吉林大学 电子科学与工程学院,集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区,吉林 长春 130012;吉林大学 电子科学与工程学院,集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区,吉林 长春 130012;吉林大学 电子科学与工程学院,集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区,吉林 长春 130012 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(61177027,1,61107021)、国家教育部博士点 基金 (20110061120052,8)、中国 博士后科学基金(20110491299,2T50297)、吉林省科技发展计划(20110315,1JH)和吉林大学基本科研业务基金(201103076)资助项目 (吉林大学 电子科学与工程学院,集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区,吉林 长春 130012) |
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| 摘 要： | 利用聚合物材料SU-8作为芯层、聚合物材料PMMA作为上包层、无机材料SiO2作为下包层,设计并制备了一种有机/无机混合波导2×2定向耦合-马赫曾德尔(DC-MZI)热光开关。为了保证波导中的单模传输、减小模式辐射和衬底泄露损耗、缩短响应时间并降低器件功耗,对其结构参数做了优化。利用涂膜、湿法刻蚀等工艺制备了器件样品。在1 550nm波长下,器件的交叉态和直通态的驱动功率分别为0和7.8mW(开关功率为7.8mW),交叉态和直通态的两端口串扰分别为-9dB和-12.8dB。在方波驱动电压信号作用下,测得器件交叉端口的上升时间和下降时间分别为138μs和136μs,直通端口的上升时间和下降时间分别为63μs和140μs。制备的混合结构器件综合利用了芯层聚合物材料热光系数大、上/下缓冲层厚度均较小以及Si/SiO2导热系数大的优点,因此同时具备了较低的功耗和较快的响应时间,在低功耗、快速光通信系统中具有较好的应用前景。
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| 关 键 词： | 集成光电子器件 平面光波导器件 热光开关 聚合物 |
| 收稿时间： | 2013/9/23 0:00:00 |
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