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两腔体串联压电驱动微型泵的输出特性
引用本文:阚君武,杨志刚,刘品宽,程光明.两腔体串联压电驱动微型泵的输出特性[J].哈尔滨工业大学学报,2004,36(10):1347-1350.
作者姓名:阚君武  杨志刚  刘品宽  程光明
作者单位:吉林大学,机械科学与工程学院,吉林,长春,130025;哈尔滨工业大学,机器人研究所,黑龙江,哈尔滨,150001
基金项目:国家高技术研究发展计划资助顶目 ( 2 0 0 2AA43 12 5 0 ),国家自然科学基金资助项目 ( 5 9975 0 40 )
摘    要:介绍了一种新的双压电振子驱动的两腔三阀串联压电泵 (以下简称两腔串联压电泵 )的结构和工作原理 .利用厚度 0 18mm、直径 30mm的压电薄膜制作了尺寸为38mm× 3 5mm的两腔体串联压电泵 ,并以水为介质测试了压电泵的输出性能 .实验结果表明 ,在工作电压和频率相同的情况下 ,由两个性能相同腔体构成的串联压电泵的输出压力等于单个腔体独立工作输出压力的 2倍 ,输出流量等于单个腔体独立工作输出流量的 1 4~ 2 0倍 ,与理论分析的结果一致 .实验测得两腔体串联压电泵的最大流量和压力分别为 11 75ml/min(驱动电压 70V、频率为 5 0Hz)和 2 1 9kPa(驱动电压 70V、频率为 2 0Hz)

关 键 词:微型泵  压电振子  两腔体压电泵
文章编号:0367-6234(2004)10-1347-04
修稿时间:2003年5月13日

Performance of a double-chamber serial piezoelectric micropump
KAN Jun-wu ,YANG Zhi-gang ,LIU Pin-kuan ,CHENG Guang-ming.Performance of a double-chamber serial piezoelectric micropump[J].Journal of Harbin Institute of Technology,2004,36(10):1347-1350.
Authors:KAN Jun-wu  YANG Zhi-gang  LIU Pin-kuan  CHENG Guang-ming
Affiliation:KAN Jun-wu 1,YANG Zhi-gang 1,LIU Pin-kuan 2,CHENG Guang-ming 1
Abstract:
Keywords:micropump  PZT actuator  double-chamber piezoelectric micropump
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