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| 电子束曝光机用背散射电子检测装置的研制及应用 | |
| 作者姓名： | 武丰煜 张福安 |
| 作者单位： | 中国科学院电工研究所(武丰煜)，中国科学院电工研究所(张福安) |
| 摘 要： | 在电子束曝光系统中,背散射电子检测器是重要部件之一。本文简要地介绍了该装置的工作原理、功能及检测系统概况,并给出了多种应用举例。 |
| 关 键 词： | 电子束曝光机 背散射电子 检测装置 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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