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| 硅中微体缺陷激光测试技术的理论与实验研究 | |
| 引用本文： | 陈军 尤政. 硅中微体缺陷激光测试技术的理论与实验研究[J]. 红外与毫米波学报, 1997, 16(3): 174-178 |
| 作者姓名： | 陈军 尤政 |
| 摘 要： | 提出了一种基于广义伦兹－米氏理论（ＧｅｎｅｒａｌｉｚｅｄＬｏｒｅｎｚ＆ＭｉｅＴｈｅｏｒｙ）的硅中μｍ／ｎｍ级体缺陷的激光无损检测新途径，叙述了有关的理论基础，进行了系统的计算机仿真与特征提取的研究，实现了系统的模拟实验，验证了理论的正确性及方案的可行性。 |
| 关 键 词： | 广义洛伦兹－米氏散射理论，硅，激光，无损检测 |
THEORETCAL AND EXPERIMENTAL STUDY OF LASER DETECTING TECHNIQNE FOR MICRO BULK DEFECTS IN SILICON |
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