| 不同衬底对离子束辅助沉积TiCxNy膜力学性能影响的研究 |
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| 引用本文： | 刘仲阳,王培录,孙官清,廖小东,郑思孝.不同衬底对离子束辅助沉积TiCxNy膜力学性能影响的研究[J].机械工程材料,1998,22(5):17-20,28. |
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| 作者姓名： | 刘仲阳 王培录 孙官清 廖小东 郑思孝 |
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| 作者单位： | 四川联合大学原子核科学技术研究所辐射物理及技术国家教委开放实验室!四川成都，610064，四川联合大学原子核科学技术研究所辐射物理及技术国家教委开放实验室!四川成都，610064，四川联合大学原子核科学技术研究所辐射物理及技术国家教委开放实验室!四川成都，610064，四川联合 |
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| 摘 要： | 用离子束辅助沉积（IBAD）技术在TC4钛合金和9Cr18、GCr15钢基体上形成了TiCxNy膜，TEM观察发现膜均呈多晶结构，都具有（111）、（200）和（220）择优取向。AES和XPS分析进一步证实，TiCxNy膜呈含氧配置。膜的硬度和摩擦特性与N含量有关，总的趋势是N的含量过高，其硬度与摩擦性能均下降。在本试验条件下，以注入量3×1017ions／cm2的辅助剂量最佳。干摩擦表明膜的抗氧化性能优良，能有效抑制基体在摩擦过程中氧化膜的形成。又由于膜的硬度高，润滑性良好，各种基体的磨损特性都得到了显著改善。
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| 关 键 词： | 离子束辅助沉积 氮碳化钛 摩擦 磨损 力学性能 |
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