关于激光切割对厚膜电阻噪声特性影响的研究

通过采用激光切割方式来进行模拟定量损伤电阻体,对厚膜电阻器的噪声特性影响进行研究分析,探讨激光切槽长度变化与电阻噪声变化的规律:激光切槽长度在较小阶段时,电阻噪声会随着激光切槽长度的增加而较平缓地上升。但激光切槽长度在较大阶段时,电阻噪声则会随着激光切槽长度的增加而大幅地上升。对此结合了厚膜电阻的微观结构原理进行了分析,确定激光切割引起切槽线周围的厚膜电阻体发生结构性变化,导致厚膜电阻1/f噪声变化为主要因素。