| 微电机与微加工 |
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| 引用本文： | 郭中醒 权利. 微电机与微加工[J]. 微特电机, 2006, 34(7): 32-33,40 |
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| 作者姓名： | 郭中醒 权利 |
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| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第二十一研究所,上海200233 |
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| 摘 要： | 简述了和微电机相关的微加工生产中的方法，介绍了微型机电部件成型的实现途径。
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| 关 键 词： | 微电机 微加工 微铣削 超细线切割 微电火花 腐蚀加工 部件成型 |
| 文章编号： | 1004-7018（2006）07-0032-02 |
| 收稿时间： | 2006-05-11 |
| 修稿时间： | 2006-05-11 |
Micro-motor and Microfabrication |
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| GUO Zhong - xing , QUAN Li. Micro-motor and Microfabrication[J]. Small & Special Electrical Machines, 2006, 34(7): 32-33,40 |
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| Authors: | GUO Zhong - xing QUAN Li |
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| Affiliation: | No. 21 Research Institute under CETC, Shanghai 200233, China |
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| Abstract: | Methods of micro fabrication related to micromotot industry is described. Way of realization for micro - electromechanical parts moulding is introduced. |
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| Keywords: | micro - motor micro - machining micro - milling micro- wire cutting micro- electric sparks corrosive treatment parts - moulding |
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