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非晶SiO2团簇与单晶硅基底微观接触的分子动力学模拟

作者姓名：	陈爱莲隆界龙陈杨

作者单位：	常州大学机械工程学院 ,江苏常州 213164;常州大学材料科学与工程学院 ,江苏常州 213164

摘要：
关键词：	分子动力学模拟非晶氧化硅单晶硅相变化学机械抛光
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