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| 还原氮化法制备氮化铌薄膜及性能研究 | |
| 作者姓名： | 王学沛 裴媛 张晓琳 魏颖娜 吴明明 李润康 魏恒勇 陈颖 吴振刚 |
| 作者单位： | 华北理工大学材料科学与工程学院,唐山063210;华北理工大学药学院,唐山063210;华北理工大学分析测试中心,唐山063210 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 氮化铌 薄膜 氨气还原氮化法 |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |
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