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| 超大规模集成电路工业洁净室的设计 | |
| 作者姓名： | 范存养 林忠平 |
| 摘 要： | 3、空气输配方式中的其他问题(1)风机应用:在集中式系统中循环风机可用多种a)离心风机:过去较多采用多翼式离心风机,考虑到占空间较大,同时避免轴承和传动皮带的发尘对系统的影响,因而采用其它形式。b)轴流风机:电机直接传动可以调节节距和转速,节省占用空间,国外采用较多,但噪声比前者为大,故必须设置专用消声器。这种情况如图9a所示。C)无蜗壳风机(或称plug Fan):美国 |
| 关 键 词： | 洁净室 自动控制 集成电路 过滤器 |
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