光学薄膜的计算机高精度监控

本文针对λ/4膜系的极值监控法的特点,给出了一个由计算机实施的高精度监控的数学模型。计算机在依据该模型建立的程序的引导下,自动完成光学薄膜的高精度监控。在比较宽松的条件下,实现了千分之三的监控精度,而且系统不再需要对光源进行调制,结构被大大的简化。