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| 0.7μm和0.3μm的微电子器件结构 | |
| 引用本文： | 帼才.0.7μm和0.3μm的微电子器件结构[J].微纳电子技术,1987(3). |
| 作者姓名： | 帼才 |
| 摘 要： | <正> Valvo和西门子公司在1986年秋季记者招待会上详细地介绍了“兆位项目”的进展情况。该计划得到西德政府和荷兰政府的官方资助。在4亿8千万西德马克的资助费中,西德联邦研究和技术部(BMFT)资助3亿2千万马克,荷兰政府出1亿6千万马克。参加这个项目的西门子公司和Philips/Valvo公司(Elcoma元器件部)各得2亿4千万马克,这大概是全部开发费用的30％(每个企业的总开发费用为8亿左右马克)。这两个公司共同从事静态1Mbit(S-RAM)和动态4Mbit读写存储器(D-RAM)的研究开发工作。两种器件的复杂程度相 |
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