方形探针测量矩形薄片电阻率的一种新计算方法及讨论

本文应用Schwarz变换简化了边界条件,讨论了方形四探针测量单面及双面扩散的矩形半导体薄片电阻率的修正因子,给出了用雅可比椭圆函数表示的公式。结果还表明采用适当的样品形状及探针排列可以提高测量的精度。对于双面扩散样品,还存在一个最佳形状,即当a/d=1时,修正因子与样品大小无关。