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| 在多孔硅衬底上制备的ZnS薄膜及其光学性能 | |
| 引用本文： | 王彩凤.在多孔硅衬底上制备的ZnS薄膜及其光学性能[J].红外,2010,31(1):17-21. |
| 作者姓名： | 王彩凤 |
| 作者单位： | 1. 滨州学院物理与电子科学系,山东,滨州,256603 2. 鲁东大学物理系,山东,烟台,264025 3. 滨州学院飞行学院,山东,滨州,256603 4. 中国科学院半导体研究所,北京,100083 |
| 基金项目： | 山东省自然科学基金资助项目(Y2002A09)；滨州学院“青年人才创新工程”科研基金资助项目（BZXYQNLG200703). |
| 摘 要： | 用脉冲激光沉积（PLD）方法在多孔硅（Ps）衬底上沉积了ZnS薄膜。用x射线衍射仪（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）、荧光分光光度计分别研究了ZnS薄膜的晶体结构、表面形貌及光学性能。结果表明，ZnS薄膜呈立方相晶体结构，沿β-ZnS（111）晶向择优取向生长；经过300℃真空退火30min后，ZnS薄膜的XRD衍射峰强度增大，表面变得粗糙，在可见光区的平均透射率达到80％以上，适合作太阳能电池过渡层、红外增透膜、红外窗口和头罩等。在退火后的ZnS／PS复合膜体系的光致发光谱（PL）中，除了高能端ZnS的蓝光发射和低能端Ps的红光发射外，在光谱中间550nm附近出现了一个新的绿光发射，这归因于ZnS薄膜退火过程中形成的缺陷能级而产生的缺陷中心发光。根据三基色叠加的原理将ZnS的蓝、绿光与Ps的红光叠加在一起后，ZnS／PS复合膜体系呈现出了较强的白光发射，这为固态白光发射器件的实现开辟了一条新的捷径。 |
| 关 键 词： | 光学性能 白光 光致发光 ZnS薄膜 多孔硅 |
| 收稿时间： | 2009/8/11 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2009/8/28 0:00:00 |
ZnS Thin Film Prepared on Porous Si Substrate and Its Optical Properties |
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| Wang Caifeng.ZnS Thin Film Prepared on Porous Si Substrate and Its Optical Properties[J].Infrared,2010,31(1):17-21. | |
| Authors: | Wang Caifeng |
| Affiliation: | Department of Physics and Electronic Science, Binzhou University |
| Abstract: | |
| Keywords: | optical property white light photoluminescence ZnS thin film porous Si |
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