| 基于低温ALD氧化锌/钙钛矿复合膜的光电探测器 |
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| 引用本文： | 龚智鹏,杨尊先,郭太良.基于低温ALD氧化锌/钙钛矿复合膜的光电探测器[J].光电子技术,2022(4):274-279. |
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| 作者姓名： | 龚智鹏 杨尊先 郭太良 |
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| 作者单位： | 福州大学物理与信息工程学院 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目(61574039)；;福建省自然基金项目(2015J01252)；;国家科技部重点研发计划项目(2016YFB0401503,2016YFB0401305,2016YFB0401103)； |
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| 摘 要： | 以原子层低温沉积技术(ALD)制备的氧化锌(ZnO)作为薄膜晶体管载流子传输层，将其与光电敏感性极高的CsPbBrI2全无机钙钛矿薄膜复合进一步研制出光电晶体管用于光电探测。氧化锌薄膜晶体管可在150℃低温条件下制备且无需高温退火，同时，CsPbBrI2钙钛矿薄膜也可以在低温工艺下制备。结果显示，CsPbBrI2/ZnO光电探测器表现出较好的性能，可对365 nm至600 nm波长的光辐射有光响应。在500 nm波长的光照射下，最大响应度和探测率分别可达2×103A/W和3×1014Jones。CsPbBrI2/ZnO光电晶体管的瞬态响应显示出250 ms的上升时间和200 ms的下降时间，并且在长时间测量后瞬态行为保持不变。
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| 关 键 词： | 薄膜晶体管 氧化锌 钙钛矿薄膜 光电探测器 |
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