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| X波段MEMS环行隔离滤波芯片 | |
| 作者姓名： | 李志东 汪蔚 杨拥军 周嘉 翟晓飞 |
| 摘 要： | 设计并制备了一种X波段微电子机械系统(MEMS)环行隔离滤波芯片,该芯片以高阻硅作为衬底材料,由2个MEMS环行器、1个薄膜匹配电阻以及1个MEMS滤波器四部分优化集成在一起,实现多功能芯片化.相比传统环行隔离器外接滤波器,其具有优良的电磁兼容及带外抑制能力,同时具有尺寸小、内部匹配好、易于调试装配等特点.基于MEMS... |
| 关 键 词： | 微电子机械系统(MEMS) 环行器 隔离器 滤波器 多功能芯片 |