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DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
X波段MEMS环行隔离滤波芯片
作者姓名:
李志东
汪蔚
杨拥军
周嘉
翟晓飞
摘 要:
设计并制备了一种X波段微电子机械系统(MEMS)环行隔离滤波芯片,该芯片以高阻硅作为衬底材料,由2个MEMS环行器、1个薄膜匹配电阻以及1个MEMS滤波器四部分优化集成在一起,实现多功能芯片化.相比传统环行隔离器外接滤波器,其具有优良的电磁兼容及带外抑制能力,同时具有尺寸小、内部匹配好、易于调试装配等特点.基于MEMS...
关 键 词:
微电子机械系统(MEMS)
环行器
隔离器
滤波器
多功能芯片
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