| CMOS兼容的微机械P/N多晶硅热电堆红外探测器 |
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| 引用本文： | 刘义冬,李铁,王翊,王跃林. CMOS兼容的微机械P/N多晶硅热电堆红外探测器[J]. 功能材料与器件学报, 2007, 13(3): 226-232 |
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| 作者姓名： | 刘义冬 李铁 王翊 王跃林 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术联合国家重点实验室,上海,200050;中国科学院研究生院,北京,100049;中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术联合国家重点实验室,上海,200050 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划) , 上海市AM基金 , 新泰研究与发展课题基金 |
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| 摘 要： | 提出一种采用正面开口进行湿法腐蚀释放热电堆的结构,通过利用高精度光刻、LPCVD(low -pressure chemical vapor deposition)薄膜生长、IBE(ion beam etching)干法刻蚀、TMAH ((CH3)4NOH)腐蚀等微机械加工技术,设计并制作了CMOS兼容的微机械多晶硅热电堆红外探测器.实验得到的器件成品率达到90%以上,响应率为12.5 V/W,探测率1×107 cmHz1/2/W,为进一步大规模红外面阵研究奠定了基础.
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| 关 键 词： | 红外 热电堆 微电子机械系统 |
| 文章编号： | 1007-4252（2007）03-0226-07 |
| 修稿时间： | 2006-05-18 |
CMOS compatible MEMS P/N polycrystalline silicon thermopile IR detector |
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| LIU Yi-dong,LI Tie,WANG Yi,WANG Yue-lin. CMOS compatible MEMS P/N polycrystalline silicon thermopile IR detector[J]. Journal of Functional Materials and Devices, 2007, 13(3): 226-232 |
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| Authors: | LIU Yi-dong LI Tie WANG Yi WANG Yue-lin |
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| Affiliation: | 1. State Key Laboratories of Transducer Technology, Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 200050, China; 2. Graduate School of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Infrared Thermopile MEMS |
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