| FESEM在Bi系高温超导材料研究中的应用 |
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| 引用本文： | 孟均,武庆兰,刘庆,韩征和.FESEM在Bi系高温超导材料研究中的应用[J].电子显微学报,2002,21(5):733-734. |
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| 作者姓名： | 孟均 武庆兰 刘庆 韩征和 |
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| 作者单位： | 1. 清华大学应用超导中心,北京,100084
2. 清华大学清华大学材料科学与工程系,北京,100084 |
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| 摘 要： | 利用热场发射扫描电镜 (ＦＥＳＥＭ)的基本功能 ,通过对比样品的简单分析 ,展示Ｂｉ系高温超导材料的微观特性。ＬＥＯ15 30热场发射扫描电镜 (ＦＥＳＥＭ)有 3种成像方式 :二次电子 (ＳＥ2 )像、背散射 (ＱＢＳＤ)像和ＩＮＬＥＮＳ像 (内镜像 )。由于采用场发射的电子枪 ,ＦＥＳＥＭ的电子束斑在几个ｎｍ的量级1] ,ＩＮＬＥＮＳ像分辨率可以达到 1ｎｍ(2 0ｋＶ)～ 3ｎｍ(10ｋＶ)。ＩＮＬＥＮＳ像只接收从样品表面几个ｎｍ深度垂直反射的电子信号 ,因而适于分析样品表面的细节 ,而ＳＥ2像适于观察景深较大的样品 ,如图Ａ(1,2 )。此外 ,由图…
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| 关 键 词： | FESEM Bi系高温超导材料 热场发射扫描电镜 表面形貌 微观分析 |
The application of FESEM in BSCCO high Tc superconductivity materials |
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