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杂志ISSN号
半导体制造设备的进步 支撑半导体产业的持续发展
作者姓名:
杨荣
陈丽红
冯黎
作者单位:
东电电子
摘 要:
随着集成电路技术的发展,半导体加工工艺面临特征尺寸的减小,新材料以及新结构的导入等诸多技术变革点。这些技术变革都对半导体制造设备提出了新的要求及挑战。本文将从工艺技术和量产技术两个方面,阐述半导体制造设备是如何应对先进工艺,克服挑战,并支撑着半导体技术的发展。
关 键 词:
半导体
设备
微细化
结构
材料
工艺
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