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| 激光专用机在非晶硅太阳能电池制备中的应用 | |
| 作者姓名： | 熊绍珍 朱云路 |
| 作者单位： | 南开大学电子科学系(熊绍珍，孙钟林，孟志国)，天津激光技术研究所(朱云路) |
| 摘 要： | 本文详细讨论了大面积实用型非晶硅太阳能电池制备中激光刻蚀专用机的作用及对该机的技术要求.研究结果表明,采用10瓦YAG激光器并配以微机控制的x-y大型载物台,可用于20cm×20cm非晶硅太阳能电池的研究,已制出10cm×10cm转换效率可达8.55%的电池. |
| 关 键 词： | 激光专用机 非晶硅 太阳能电池 |
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