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低温制备α-Al2O3涂层的研究进展
作者姓名:林岳宾
作者单位:淮阴工学院江苏省介入医疗器械研究重点实验室,江苏淮安223003;南京航空航天大学材料科学与技术学院,江苏南京210016
摘    要:综述了低温制备α-Al2O3涂层研究进展,指出实现低温制备α-Al2O3涂层需解决的关键问题是离子轰击以及增加形核密度,同时展望了低温制备α-Al2O3涂层的发展前景和研究方向.

关 键 词:低温制备  α-Al2O3  离子轰击  形核
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