| 二氧化锡薄膜气敏传感器对常见室内污染气体的电阻2温度特性及机理分析 |
| |
| 引用本文： | 孙兰侠,季振国,杜娟,周强,陈琛,赵丽娜. 二氧化锡薄膜气敏传感器对常见室内污染气体的电阻2温度特性及机理分析[J]. 传感技术学报, 2005, 18(1): 47-49,52 |
| |
| 作者姓名： | 孙兰侠 季振国 杜娟 周强 陈琛 赵丽娜 |
| |
| 作者单位： | 浙江大学硅材料国家重点实验室,杭州,310027 |
| |
| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划)，浙江省分析测试基金 |
| |
| 摘 要： | 采用无机试剂(SnCl2·2H2O)为原料,用溶胶-凝胶提拉法制备了二氧化锡薄膜及相应的气敏传感器,并研究了二氧化锡薄膜气敏传感器在常见室内污染气体气氛中的电阻-温度变化关系.结果发现不同气氛下电阻-温度特性各不相同,由此可以获得被测气体的相关信息.本文还用分子轨道计算软件对四种室内污染气体的分子轨道进行了计算,并根据分子轨道能级的相对位置定性解释了二氧化锡薄膜气敏传感器在不同气氛中的电阻-温度曲线.通过对甲醛、苯、甲苯、二甲苯四种气体电阻-温度曲线的测试可以确定被测气体的种类.
|
| 关 键 词： | 二氧化锡薄膜 气敏传感器 溶胶-凝胶法 电阻-温度曲线 |
| 文章编号： | 1004-1699(2005)01-0047-03 |
Mechanism of Resistance2Temperature Characteristics of a SnO2Thin2Film Gas Sensor in Hazardous Indoor Gase |
| |
| SUN Lanxi,JI Zhenguo,DU Juan,ZHOU Qiang,CHEN Chen,ZHAO Lina. Mechanism of Resistance2Temperature Characteristics of a SnO2Thin2Film Gas Sensor in Hazardous Indoor Gase[J]. Journal of Transduction Technology, 2005, 18(1): 47-49,52 |
| |
| Authors: | SUN Lanxi JI Zhenguo DU Juan ZHOU Qiang CHEN Chen ZHAO Lina |
| |
| Affiliation: | State key laboratory for silicon materials , Zhejiang University , Hangzhou 310027 , China |
| |
| Abstract: | SnO2 thin2film gas2sensor was fabricated by sol2gel dip2coating process using SnCl2·2H2O as starting ma2terials. Temperature dependence characterristics of the resistance was investigated in four hazardous indoor gases(formaldehyde , benzene , dimethyl benzene , methyl benzene) . It was found that resistance2temperature characteristicswere different for different gases. Molecular orbital calculation results based on MOPAC indicate that resistance2tem2perature characteristics of SnO2 thin2film are related to the molecular orbital levels. Therefore measurement of resis2tance2temperature curves could enhance the selectivity of the SnO2 thin2film gas sensors. |
| |
| Keywords: | tin dioxide gas sensor sol-gel dip coating vacuum |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《传感技术学报》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《传感技术学报》下载全文 |
|
