摘 要: | 一、概述 由于立式涡轮分子泵(以下简称分子泵)的结构尺寸比较精确,再加上高转速,一些主要件稍有不对称或转动不平衡,就会产生很大的振动和噪声,甚至破坏分子泵。因此,对分子泵的加工和装配精度,轴的刚度,轴承的精度和质量以及润滑等都有严格的要求。同时,也要求使用人员要熟悉各生产厂的技术说明书,懂得分子泵的安装与使用操作步骤。这对正确使用分子泵是十分必要的。 二、前级泵的选择 当气体分子在涡轮叶片间的平均自由程减小到叶片间距十分之一时,分子间的碰撞过多,使气体的传输受到影响。由于分子泵的人口端处于低压状态,不会使气体的…
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