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| 光学镜面间隔测量中的色散研究 | |
| 引用本文： | 郭帮辉,李明,孙强.光学镜面间隔测量中的色散研究[J].激光与光电子学进展,2014,51(6):61204-108. |
| 作者姓名： | 郭帮辉 李明 孙强 |
| 作者单位： | 郭帮辉:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 长春 130033中国科学院大学, 北京 100049 李明:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 长春 130033 孙强:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 长春 130033 |
| 基金项目： | 吉林省科技厅发展计划项目（20125092）、中国科学院院地合作项目（2011CJT0004） |
| 摘 要： | 材料的色散会影响镜面间隔的测量精度,为了提高光学干涉法测量镜面间隔的精度,对材料色散效应进行理论分析和数值仿真,分别对LAK9、ZF6、H-ZF2、BAK7、K9光学玻璃进行仿真测试,得到了干涉信号峰值偏移量关系式,信号峰值偏移量与材料的一阶色散系数成正比。为了验证该关系式的正确性,搭建了一个镜面间隔测量实验平台,实验测量得到的干涉信号最大值偏移量与仿真测试结果的相对误差小于2%,考虑到实验过程中的误差因素,证明仿真测试得到的结果是正确的。 |
| 关 键 词： | 光学系统 光学干涉 色散 镜面间隔 光学装调 镜面间隔测量 短相干 |
| 收稿时间： | 2013/12/23 |
Research of Dispersion in Measurement of Optical Lens Gap |
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| Abstract: | |
| Keywords: | optical systems optical interference dispersion lens gap optical alignment measurement of lens gap partial coherence interferometry |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |