|
|||||
|
|
| 磷烷制备方法综述 | |
| 摘 要： | 磷烷是半导体制备工艺中不可缺少的气体。介绍了磷烷的性质、应用及制备方法,根据不同的制备工艺对其合成方法进行了分类评析,指出了各种制备方法的优缺点。综合各方法的特点,指出了今后制备磷烷的方向。 |
Research Progress in Synthesis of Phosphine |
|
| Abstract: | |
| Keywords: | |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ | |
|
||||||||||||||||||
|
||||||||||||||||||
|
||||||||||||||||||
|
|
|
|
| 设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏 |
|
Copyright©北京勤云科技发展有限公司 京ICP备09084417号 |