基于SPC系统的外延设备精细化管理

将SPC系统运用到外延设备管理过程,通过SPC系统中的管理工具,做到系统在线监测和在线判异,提升机台的标准化程度,保障产品的一致性。利用评判体系,优化设备参数,达到精细化管理的水平,提升机台的可靠性和稳定性。