| 基于羟基磷灰石的QCM湿度传感器研究 |
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| 引用本文： | 沈兵,徐甲强,王炉煜,陈杨.基于羟基磷灰石的QCM湿度传感器研究[J].电子元件与材料,2022,41(1):53-58. |
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| 作者姓名： | 沈兵 徐甲强 王炉煜 陈杨 |
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| 作者单位： | 上海大学 理学院, 上海 200444;上海摇橹仪器有限设备有限公司, 上海 200444 |
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| 基金项目： | 国家重点研发计划(2020YFB2008600)； |
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| 摘 要： | 随着物联网信息化技术的发展,湿度传感器检测精度的要求越来越高,研究具有更好湿敏特性的材料变得日益重要.采用溶胶凝胶法制备了一种具有均匀棒状结构、绿色无毒的羟基磷灰石纳米材料,并将其负载在石英晶体微天平(QCM)上,构筑了高稳定性和敏感性的湿度传感器.通过测量QCM的共振频移,研究了所构筑传感器的湿敏特性,其共振频移源于...
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| 关 键 词： | 羟基磷灰石 石英晶体微天平 溶胶凝胶法 湿敏特性 检测精度 |
QCM based humidity sensor modified with hydroxyapatite |
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| SHEN Bing,XU Jiaqiang,WANG Luyu,CHEN Yang.QCM based humidity sensor modified with hydroxyapatite[J].Electronic Components & Materials,2022,41(1):53-58. |
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| Authors: | SHEN Bing XU Jiaqiang WANG Luyu CHEN Yang |
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| Affiliation: | (College of Sciences,Shanghai University,Shanghai 200444,China;Shanghai Yaolu Instrument&Equipment Co.,Ltd,Shanghai 200444,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | hydroxyapatite quartz crystal microbalance(QCM) sol-gel method humidity sensitive characteristics detection accuracy |
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